超精密加工，是一種固結磨粒壓力進給的一種精整加工方法，這種超精密加工，能夠將微細磨粒以及低強度結合劑制成油石加壓在需要加工的工件表面。

　　在工件與油石所接觸的表面，加注大量的適當粘度的油液，在超精密加工中的軌跡是正弦曲線，是有利于保持磨粒的尖銳，降低表面的形狀誤差，一般能夠在較短 的時間內達到鏡面效果，在平面研磨拋光機低速進給加工中，由于變質層較小，能夠獲得工件表面比較高的耐蝕性以及耐磨性表面。

　　適當的組合不同的油石形狀以及相對運動的形式，能夠適用于各種外圓、平面等加工。

　　超精密加工的機理有幾個階段。對超精密加工油石的時候加壓大多數的壓力以及空氣壓力，超精密加工表面一般會經過精密磨削，達到一定的表面粗糙度。

　　1、強烈的切削階段，工件表面粗糙度與油石相接觸的時候，其接觸的應力較大，奇偶瑟吉歐，平常繼續哦啊么破碎自銳現象。

　　2、進入正常的加工階段，工件粗糙層表面被磨除，表面會附著一層黑色。

　　3、工件在研磨過程中，磨粒的自銳會減少，切屑氧化物開始嵌入空隙中，會出現堵塞氣孔，使磨粒的切削能力降低，工件表面粗糙度會出現下降，黑色切屑會附著在工件表面。

　　4、油石與工件之間進行相互摩擦較為光滑，接觸面積加大，磨粒不能與工件接觸，會形成油膜，根據超精密加工，需要選擇正確的參數，為了提高超精密加工的效率以及質量，需要分為粗磨以及精磨。